成果简介：
利用微纳米梁在表面粘附微尘时，其强迫振动的频率会与洁净时的固有频率不同，粘附的微尘越多，振动频率偏差越大，通过计数器记录，并根据偏差范围显示洁净等级，完成表面洁净程度的检测本项专利利用，其实质为质量传感器。
技术特点及技术指标：
本发明主要利用微纳米梁在粘附微尘前后的振动频率不同实现，可分辨质量很轻的微小灰尘，具有检测精度高，经久耐用的特点，不仅结构设计紧凑简单，且生产成本低，无需维护。
应用领域：
本成果主要应用于新一代检测微小质量的传感器，面向新一代传感器，信息与检测行业。本成果可以推广为检测洁净程度/微质量的质量传感器。
投入需求：
需投入的资金较少，对场地无特殊要求，设施的成本不高。总之，设备的产业化投入成本不高。
专利授权及申请情况：
国家发明专利：一种检测表面洁净程度的装置及方法（授权）
成果受资助及获奖情况：
国家自然科学基金面上项目，11672334，基于表面弹性和应变梯度弹性理论的纳米弹性结构的复杂动力学研究，2017-01 至 2020-12
技术成熟程度：☑研制开发阶段
拟合作方式：☑整体转让
